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無塵凈化車間、凈化室的溫濕度記錄主要是依據(jù)您的制作工藝規(guī)定來明確,在達到制作工藝的情況下,無塵廠房挑選需要考慮到人的舒適感。伴隨著空氣過濾規(guī)定的提升,加工工藝對溫度濕度的需求也愈來愈高,無塵室凈化車間需要到達一定的溫濕度記錄級別。
例如在規(guī)模性電子器件生產(chǎn)制造的光刻技術(shù)曝出加工工藝中,做為掩膜板原材料的夾層玻璃與單晶硅片的線膨脹系數(shù)的差規(guī)定愈來愈小。直徑100um的單晶硅片,溫度升高1度,就造成了0.24um線形脹大,因此需要有土0.1度的控溫,與此同時規(guī)定環(huán)境濕度值一般較低,由于人流汗之后,對商品將有環(huán)境污染,尤其是怕鈉的半導(dǎo)體材料生產(chǎn)車間,這類生產(chǎn)車間不適合超出25度。環(huán)境濕度過高造成的問題大量。空氣濕度超出55時,冷卻循環(huán)水壁厚上面冷凝水,假如出現(xiàn)在準(zhǔn)確設(shè)備或線路中,便會造成各種各樣安全事故??諝鉂穸仍?0的時候容易銹蝕。
殊不知針對絕大多數(shù)清潔室內(nèi)空間,為了避免外部環(huán)境污染入侵,需要維持內(nèi)部結(jié)構(gòu)的工作壓力(負壓)高過外界的工作壓力(負壓)。壓差的保持一般應(yīng)滿足下列標(biāo)準(zhǔn):
1.潔凈度等級等級高的室內(nèi)空間的負擔(dān)要高過鄰近的潔凈度等級等級低的室內(nèi)空間的工作壓力。
2.互通凈化室中間的門要開在潔凈度等級等級高的屋子。
3.清潔室內(nèi)空間的負擔(dān)要高過非清潔室內(nèi)空間的工作壓力。壓差的保持借助排風(fēng)量,這一排風(fēng)量要能賠償在這里一壓差下從間隙泄漏掉的排風(fēng)量。因此壓差的物理意義便是泄漏(或滲入)排風(fēng)量根據(jù)凈化室的各種各樣間隙時的摩擦阻力。