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1、溫濕度
GMP車間潔凈室或潔凈設(shè)施溫、濕度測(cè)定,通常分為兩個(gè)檔次:一般測(cè)試和綜合測(cè)試。第一個(gè)檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗(yàn)收測(cè)試,第二個(gè)檔次適用于靜態(tài)或動(dòng)態(tài)的綜合性能測(cè)試。這類測(cè)試適用于對(duì)溫度、濕度性能要求比較嚴(yán)格的場(chǎng)合。
本檢測(cè)在氣流均勻性檢測(cè)之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進(jìn)行。進(jìn)行這項(xiàng)檢測(cè)時(shí),空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運(yùn)轉(zhuǎn),各項(xiàng)狀況已經(jīng)穩(wěn)定。每個(gè)濕度控制區(qū)至少設(shè)置一個(gè)濕度傳感器,并且給傳感器充分的穩(wěn)定時(shí)間。所做測(cè)量應(yīng)適合實(shí)際使用的目的,待傳感器穩(wěn)定之后才開始測(cè)量,測(cè)量時(shí)間不少于5分鐘。
2、風(fēng)速風(fēng)量換氣次數(shù)
潔凈室、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣,以排替、稀釋室內(nèi)產(chǎn)生的顆粒污染物來實(shí)現(xiàn)的。為此,測(cè)定潔凈室或潔凈設(shè)施的送風(fēng)量、平均風(fēng)速、送風(fēng)均勻性、氣流流向及流型等項(xiàng)目十分必要。
單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染空氣以維持室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的潔凈度。因此,其送風(fēng)斷面風(fēng)速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù)。較高的、較均勻的斷面風(fēng)速能更快、更有效地排除室內(nèi)工藝過程產(chǎn)生的污染物,因此它們是主要關(guān)注的檢測(cè)項(xiàng)目。
非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來沖淡與稀釋室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染物以維持其潔凈度。因此,換氣次數(shù)越大,氣流流型合理,稀釋效果越顯著,潔凈度也相應(yīng)提高。所以非單相流潔凈室、潔凈區(qū)的送風(fēng)量及相應(yīng)的換氣次數(shù),是主要關(guān)注的氣流測(cè)試項(xiàng)目。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),記錄各測(cè)點(diǎn)風(fēng)速的時(shí)間平均值。
換氣次數(shù):根據(jù)潔凈室總風(fēng)量除以法凈室的容積求得
3、壓差
這項(xiàng)檢測(cè)的目的是驗(yàn)證完工設(shè)施與周圍環(huán)境之間、設(shè)施內(nèi)各空間之間保持規(guī)定壓差的能力。
這項(xiàng)檢測(cè)適用于所有3種占用狀態(tài)。需要定期進(jìn)行這項(xiàng)檢測(cè)。
壓差的測(cè)試應(yīng)在所有的門都關(guān)閉的條件下,由高壓向低壓、由平面布置上與外界最遠(yuǎn)的里間房間開始,依次向外測(cè)試;有孔洞相通的不同等級(jí)相鄰的潔凈室(區(qū)),其洞口處宜有合理的氣流流向等等。
壓差檢測(cè)步驟:
1)先關(guān)閉所有的門。
2)用微差壓計(jì)測(cè)量各潔凈室之間、潔凈室走廊之間、走廊與外界之間的壓差。
3)記錄所有數(shù)據(jù)。
壓差檢測(cè)要求:
1)靜壓差的測(cè)定要求在潔凈區(qū)內(nèi)的所有門全部關(guān)閉情況下進(jìn)行。
2)在潔凈平面上應(yīng)從潔凈度由高到低的順序依次進(jìn)行,一直檢測(cè)到直通室外的房間。
3)測(cè)管口設(shè)在室內(nèi)沒有氣流影響的任何地方均可,測(cè)管口面與氣流流線平行。
4)所測(cè)量記錄的數(shù)據(jù)應(yīng)精確到 1.0Pa。
壓差標(biāo)準(zhǔn)要求:
按照潔凈室設(shè)計(jì)或工藝要求決定維持被測(cè)潔凈室的正壓或負(fù)壓值。
1)不同級(jí)別的潔凈室或潔凈區(qū)與非潔凈室(區(qū))之間的靜壓差,應(yīng)不小于5Pa。
2)潔凈室(區(qū))與室外的靜壓差,不應(yīng)小于 10Pa。
3)對(duì)于空氣潔凈度等級(jí)嚴(yán)于 5 級(jí)(100 級(jí))的單向流潔凈室在開門時(shí),門內(nèi) 0.6m 處的室內(nèi)工作面含塵濃度應(yīng)不大于相應(yīng)級(jí)別的含塵濃度限值。
4)若達(dá)不到以上標(biāo)準(zhǔn)的要求,應(yīng)重新調(diào)整新風(fēng)量、排風(fēng)量、至合格為止。