無(wú)塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪 音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能具有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕 度及壓力等性能之特性。潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間 我們稱(chēng)之為潔凈室。

電子無(wú)塵車(chē)間生產(chǎn)制造設(shè)備應(yīng)注意的3大點(diǎn)

1.生產(chǎn)設(shè)備之選擇、布置與保養(yǎng)： a.要選用發(fā)塵性較少的生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)設(shè)備，尤其須注意活動(dòng)部分之發(fā)塵。 b.應(yīng)選擇塵埃之影響較小的生產(chǎn)設(shè)備或接口設(shè)備。 c.生產(chǎn)用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因，故應(yīng)配備過(guò)濾裝置。 d.規(guī)劃各設(shè)備之配置空間時(shí)，事先宜考慮不易積累微塵之結(jié)構(gòu)，規(guī)劃各并以容易清潔為原則。 e.真空泵等容易產(chǎn)生污染物的這類(lèi)設(shè)備，應(yīng)設(shè)置在無(wú)塵室外面或回風(fēng)區(qū)，并加裝排氣管線排氣。 f.設(shè)置給水管線、氣體管線和電氣系統(tǒng)時(shí)，其構(gòu)造須考慮到容易清潔，不易積累污染物。 g.生產(chǎn)及相關(guān)設(shè)備應(yīng)定期清掃，以避免微塵之堆積。 h.應(yīng)加強(qiáng)注意室內(nèi)的溫濕度控制，避免因濕度之不當(dāng)造成結(jié)露生銹。 i.當(dāng)設(shè)備維修時(shí)易產(chǎn)生微塵粒子，故維修時(shí)盡量于清潔室外進(jìn)行，并加隔離柵隔離。 j.對(duì)于施工或維修之廠商，應(yīng)告知進(jìn)出無(wú)塵室之各項(xiàng)規(guī)定，且負(fù)責(zé)工程師應(yīng)隨侍在側(cè)監(jiān)工。 k.應(yīng)有無(wú)塵室專(zhuān)用工具組，但不得帶出無(wú)塵室外使用。 l.規(guī)劃空間時(shí)若能臨近無(wú)塵室設(shè)立一間維修和設(shè)備保養(yǎng)手冊(cè)置放室，將是一理想之規(guī)劃。下

2.生產(chǎn)設(shè)備之防塵措施： a.磨損、切削均為發(fā)生微塵之原因，故需將發(fā)塵部分掩蓋之。 b.易產(chǎn)生塵埃之設(shè)備，若能的話應(yīng)布置于風(fēng)尾地點(diǎn)。 c.在操作時(shí)，盡量減少接觸零件或產(chǎn)品。 d.不得有太大或不必要的操作動(dòng)作，以免卷起附近之灰塵。 e.各項(xiàng)廠務(wù)設(shè)施之供應(yīng)如水、氣體和化學(xué)品于進(jìn)入生產(chǎn)設(shè)備前應(yīng)有過(guò)濾設(shè)備。 f.為不使氣體或液體滯留，造成微污染，故管路配置應(yīng)有旁路閥之設(shè)置。

3.自動(dòng)化與無(wú)塵化： a.設(shè)立自動(dòng)化傳送系統(tǒng)，可減少人員方面所帶來(lái)的污染，唯費(fèi)用相當(dāng)昂貴，須詳加評(píng)估。 b.建立管制項(xiàng)目如進(jìn)入無(wú)塵室人員的資格限定，無(wú)塵室作業(yè)人員作業(yè)規(guī)則，無(wú)塵室管理規(guī)則等。