電子無(wú)塵車間的物理凈化方式

發(fā)布日期：2016-12-13 18:21 來(lái)源：http://www.0514gps.com 點(diǎn)擊：

1.吸附性過濾—活性炭　活性炭是一種多孔性的含炭物質(zhì), 它具有高度發(fā)達(dá)的孔隙構(gòu)造, 活性炭的多孔結(jié)構(gòu)為其提供了大量的表面積，能與氣體（雜質(zhì)）充分接觸，從而賦予了活性炭所特有的吸附性能，使其非常容易達(dá)到吸收收集雜質(zhì)的目的。就象磁力一樣，所有的分子之間都具有相互引力缺點(diǎn)：普通活性炭并不能吸附所以的有毒氣體，效率較低、易脫附。

2.機(jī)械性過濾—HEPA網(wǎng)，中文意思為高效空氣過濾器，達(dá)到HEPA標(biāo)準(zhǔn)的過濾網(wǎng)，對(duì)于0.3微米的有效率達(dá)到99.998%，HEPA網(wǎng)的特點(diǎn)是空氣可以通過，但細(xì)小的微粒卻無(wú)法通過。HEPA過濾網(wǎng)由一疊連續(xù)前后折疊的亞玻璃纖維膜構(gòu)成，形成波浪狀墊片用來(lái)放置和支撐過濾界質(zhì)。

潔凈度等級(jí)要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控，另外該類潔凈室對(duì)靜電要求極其嚴(yán)格。其中對(duì)濕度的要求尤甚。因?yàn)檫^于干燥的廠房?jī)?nèi)極易產(chǎn)生靜電，造成CMOS集成損壞。一般來(lái)說，電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對(duì)濕度控制在50-60%之間