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合格的凈化車間是有很多優(yōu)點(diǎn)的,即有了防塵和除塵功能,還有節(jié)能功效。尤其是對(duì)離心式壓縮機(jī)、空氣壓縮機(jī)的改進(jìn),是可以節(jié)約大量能源的。
離心式壓縮機(jī)是無(wú)油的,比螺桿式壓縮機(jī)的效率高很多。但是離心式壓縮機(jī)不能空轉(zhuǎn),這使得他們?cè)谪?fù)載低的情況下效率很低。最有效和經(jīng)濟(jì)的辦法是離心式和螺桿式壓縮機(jī)兩者結(jié)合使用。選用離心機(jī)組滿足基本負(fù)荷,再用小一些的螺桿式機(jī)組滿足峰值負(fù)荷。壓縮機(jī)組應(yīng)該配有熱回收系統(tǒng)。另一種好的方案是整個(gè)現(xiàn)場(chǎng)用高效的離心式壓縮機(jī)作為一個(gè)大的壓縮空氣裝置,外加大的儲(chǔ)氣罐和連接管道作為緩沖器。這樣可以保證整個(gè)工廠維持一個(gè)恒定載荷,減輕加載與卸載對(duì)設(shè)備的損耗,并且降低能量浪費(fèi)。
高效率的利用能源的例子很多。挖掘浪費(fèi)的能源比賣產(chǎn)品更能增加利潤(rùn),因?yàn)楣?jié)約下來(lái)的錢(qián)在最終效益中馬上就能體現(xiàn)出來(lái)。雖然能源的成本占晶片產(chǎn)品成本占不到百分之二,但是電能卻是晶片制造商在運(yùn)行中的開(kāi)支卻是最大的,每座工廠每年總共要消耗上百萬(wàn)美元的電能。在新建工廠時(shí),節(jié)能措施可以節(jié)約資本和建造時(shí)間。雖然初步設(shè)計(jì)報(bào)價(jià)昂貴,但是經(jīng)濟(jì)適用的翻新是有必要性的。凈化車間的投資回收期不超過(guò)兩年,總體而言,在某種程度上投資收回率是較高的。